檢測應用 (2D+3D) | 幾何坐標測量, 例如: CPU插座、封裝、焊珠、部件等等 |
檢測速度 (2D+3D): | 50cm2/sec至15 cm2/sec (視選用的MRS傳感器型號) |
最小特徵尺寸: | 100μm或70 μm (視選用的MRS傳感器型號) |
XY R&R@1σ: | <3μm 或 <2μm (視選用的MRS傳感器型號) |
Z R&R@1σ: | <2μm |
XY 精準度: | 6μm 或 5μm (視選用的MRS傳感器型號) |
Z 精準度: | 2μm |
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