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Cyberoptics
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自動光學測量 (CMM)
SQ3000 CMM自動光學測量
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檢測應用 (2D+3D)
幾何坐標測量, 例如: CPU插座、封裝、焊珠、部件等等
檢測速度 (2D+3D):
50cm
2
/sec至15 cm
2
/sec (視選用的MRS傳感器型號)
最小特徵尺寸:
100μm或70 μm (視選用的MRS傳感器型號)
XY R&R@1σ:
<3μm 或 <2μm (視選用的MRS傳感器型號)
Z R&R@1σ:
<2μm
XY 精準度:
6μm 或 5μm (視選用的MRS傳感器型號)
Z 精準度:
2μm
类别
Cyberoptics
子类别
自動光學測量 (CMM)
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